Yarı iletken elektronik
Entegre devre yongalarının üretimi, birden fazla zorlu ortamda çalışabilen son derece uzmanlaşmış ekipman gerektirir:
● Vakum ortamında plazma;
● Yüksek sıcaklık;
● Yüksek aşındırıcı sıvı ile temas;
● Birçok yüksek aşındırıcı kimyasallara maruz kalma.
Avantaj
● Dünyanın herhangi bir yerinde mevcut malzemenin tam olarak üremesi
● Kapsamlı malzeme seçimi, mühendislik desteği ve test yetenekleri
● İşleme özelliği, simülasyon sisteminin NPI uygulama geliştirmesini destekleyen
● Islak işlem araçları için tasarlanmış en geniş malzeme portföyü
● Techtron® PPS (CMP uygulamaları için küresel standart) dahil olmak üzere dünyadaki CMP halka malzemeleri üreticisi
● Maliyeti azaltmak ve performansı artırmak için etch, CVD ve iyon implantasyonu gibi kuru proses araçlarında kullanılan malzemeler
Ortak malzemeler
Asetal
Anti-statik, statik dağıtıcı ve iletken plastikler
CPVC
Fep
Floropolimer boru
Fr polipropilen
Eck
PVDF
NAYLON
DİKİZLEMEK
EVCİL HAYVAN
PFA
Poliimid bandı
Pc
Polipropilen
PSU
Pps
Ptfe
Pei
Epoksi
Fenolik pamuklu bez
Duroston
FR4/G10
Bakalit
Malzeme gücü
Ø Statik dağıtıcı notlar
Ø Kimyasal direnç
Ø Rulman ve aşınma uygulamalarında düşük parçacık üretimi
Ø Düşük Gözden Geçirme Özellikleri
Ø Yüksek saflıklı kimyasallara yerleştirildiğinde düşük seviyeler çıkarılabilir
Ø Yüksek sıcaklık özellikleri
Ø Boyutlu Sabitlikler
tipik uygulamalar
Rulmanlar ve burçlar
Kimyasal tanklar
Elektrikli yalıtçılar
Esnek boru
Gardiyanlar ve Kalkanlar
Parlatma halkaları
Spin Chucks
Statik Kontrol Uygulamaları
Test soketleri
Valf bileşenleri
Gofret taşıma parçaları
Islak banklar ve iş istasyonları
Ürünler ve uygulamalar
Ürün | Başvuru |
Techtron®pps | CMP halkası |
Semitron®cmp XL20 | Gravür ve CVD reaksiyon odası |
Ketron®1000 Peek | Gofret transferi |
Ertalyte®pet-P | Islak proses yapısı |
Duratron®pai | Islak proses bileşenleri, HP kimyasal ve su depolama konteyneri astarları |